產(chǎn)品目錄 / Product catalog

RTP-滑動式快速退火爐
產(chǎn)品應(yīng)用:
該系列電爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實(shí)現(xiàn)快速升降溫。應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、碳纖維、石墨烯生長等新型材料工藝領(lǐng)域。
也同樣適用于要求升降溫速度比較快的氣氛燒結(jié)、真空淬火退火及CVD等工藝實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
操作便捷性;爐體自帶超溫保護(hù)及漏電保護(hù)功能,確保設(shè)備使用的安全性;
合理的氣路支架裝置,杜絕了氣路總成因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞;爐體移動自動化且有滑動限位功能,避免爐體碰撞;風(fēng)冷設(shè)計,使樣品實(shí)現(xiàn)快速降溫。
產(chǎn)品參數(shù):RTP-滑動式快速退火爐
| 產(chǎn)品名稱 | RTP系列-滑動式快速退火爐 |
| 產(chǎn)品型號 | RTP-G06123K-H |
| 額定功率 | 8KW |
| 額定電壓 | 220AC 50/60Hz |
| 額定溫度 | 1000℃ |
| 連續(xù)工作 | 950℃(<1 小時) |
| 加熱區(qū)長度 | 250mm |
| 恒溫區(qū)長度 | 200mm |
| 加熱元件 | 鹵素管 |
| 溫度控制 | 國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫 |
| 控制精度 | ±1℃ |
| 石英管尺寸(可選配) | Φ60mm |
| 爐管材質(zhì) | 石英管 |
| 滑動距離 | 300mm |
| 降溫速度 | 900-200℃的降溫速度:15min |
| (建議)升溫速度 | 30℃/S (900℃以下) |
| 滑動控制 | 由溫度控制器自動控制爐體移動。 當(dāng)程序完成,爐體按設(shè)定的速度滑動。 |
| 滑軌尺寸 | 360×1300×265mm |
| 爐體尺寸 | 360×440×600mm |
| 重量 | 85Kg |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置 | 氣路總成一套(含真空壓力表)石英管一支、石英堵三個、鉤子一把、高溫手套一副。 |
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